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晶圆片托架落座传感器 EE-SPY801 / 802

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晶圆片托架落座传感器 EE-SPY801 / 802

晶圆片托架的落座检测
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通过与导槽并用(yòng)的方式设定落座位置

与晶圆片托架的接触面使用(yòng)了耐化學(xué)药品性强的氟素树脂

独有(yǒu)的光學(xué)系统几乎可(kě)稳定检测所有(yǒu)晶圆片托架

采用(yòng)抗干扰光的变调光方式

使用(yòng)环保导線(xiàn)（无滑石粉）


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